Prober Shuttle PS8

產(chǎn)品簡介：

Prober Shuttle PS8, 超緊湊的 PS8可安裝多達八個MM4 微機械手以及一個三軸子平臺。可用于半導(dǎo)體材料，器件，結(jié)構(gòu)等電學(xué)性能分析。

產(chǎn)品型號：PS4/PS8

更新時間：2025-01-16

廠商性質(zhì)：代理商

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

德國Kleindiek

Prober Shuttle 納米探針臺 EBIC 微納米操縱儀夾具微納操縱儀插件顯微操縱器

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產(chǎn)品介紹

Prober Shuttle PS8, 超緊湊的 PS8可安裝多達八個MM4 微機械手以及一個三軸子平臺。27 個軸中的每個軸都能以JI高的精度進行定位。探針的 Z 驅(qū)動向上擺動 90°，便于接近樣品，也便于快速更換針尖。

每個微型MM4機械手都配備了用于低電流測量套件。整個平臺可通過一個 6" Load Lock進入掃描電鏡或掃描電鏡/FIB 的真空室。

Prober Shuttle PS8,還配有高級探測工具套件（可選），可為Probing探測應(yīng)用提供大量附加功能。可用于半導(dǎo)體材料，器件，結(jié)構(gòu)等電學(xué)性能分析。

系統(tǒng)特點

所有空氣側(cè)硬件均安裝在 19 英寸機架上

電子設(shè)備機架位于操作員視線之外

通過 APT UI 控制整個系統(tǒng)

從法蘭到機架的整潔電纜管理

針對電路編輯應(yīng)用的 FIB 傾斜探測

非磁性設(shè)計

可用于5納米及更高

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Prober Shuttle PS8, 超緊湊的 PS8可安裝多達八個MM4 微機械手以及一個三軸子平臺。可用于半導(dǎo)體材料，器件，結(jié)構(gòu)等電學(xué)性能分析。

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